หน่วยทำความสะอาด

ชุดทำความสะอาดแบบแทรกเป็นอุปกรณ์ที่ปรับแต่งเองได้ออกแบบมาเป็นพิเศษสำหรับการทำความสะอาดเวเฟอร์อัตโนมัติ การแยกเวเฟอร์อัตโนมัติทำได้ผ่านกลไกการแยกอัตโนมัติ หลังจากแยกตัวหุ่นจะถ่ายโอนคาสเซ็ตเข้าไปในน้ำยาทำความสะอาด เมื่อการทำความสะอาดเสร็จสมบูรณ์หุ่นยนต์จะย้ายคาสเซ็ตไปยังแพลตฟอร์มการวางตำแหน่งที่พลิกคว่ำ (ตำแหน่งแนวนอน) ของเครื่องเรียงลำดับ หลังจากทำความสะอาดหุ่นยนต์จะวางคาสเซ็ตที่ว่างเปล่าลงบนเส้นคืนคาสเซ็ตซึ่งส่งกลับไปยังตำแหน่งการให้อาหารของเครื่องแยก คนงานต้องตรวจสอบให้แน่ใจว่าเวเฟอร์ซิลิคอนถูกโหลดลงในร่องให้อาหารของเครื่องแยก

สายการผลิตหลักของเครื่องทำความสะอาดประกอบด้วยตำแหน่งทำงาน 16 ตำแหน่ง หลักการทำงานของมันใช้การสั่นสะเทือนเชิงกลด้วยการเจาะอัลตราโซนิกที่แข็งแกร่งเพื่อส่งผลกระทบต่อพื้นผิวเวเฟอร์ซิลิคอนรวมกับผลการปนเปื้อนทางเคมีของสารทำความสะอาดเพื่อกำจัดสิ่งสกปรกเช่นซิลิกอนคาร์ไบด์ผงซิลิกอนผงโลหะคราบน้ำมันและของเหลวแขวนลอยออกจากแผ่นเวเฟอร์

ส่วนประกอบสำคัญของระบบควบคุมไฟฟ้าของเครื่องทำความสะอาดทำจากชิ้นส่วนคุณภาพสูง - เพื่อให้มั่นใจถึงประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้อายุการใช้งานที่ยาวนานและฟังก์ชั่นหน่วยความจำตำแหน่ง รถเข็นตั้งอยู่อย่างราบรื่นพร้อมการเคลื่อนไหวที่รวดเร็วและเชื่อถือได้ มีการติดตั้งเต้าเสียบดูดอากาศที่ด้านบนเพื่อป้องกันมลพิษทางอากาศและผู้ใช้จะต้องเชื่อมต่อท่ออากาศภายนอกสำหรับไอเสีย

การโหลดและการแช่→การทำความสะอาดอัลตราโซนิก→การทำความสะอาดอัลคาไล 1 →การทำความสะอาดอัลคาไล 2 →การทำความสะอาดอัลคาไล 3 →การทำความสะอาดอัลคาไล 4 →การทำความสะอาด 1 →การทำความสะอาด H2O2 →การระบายน้ำร้อน 2 การขนถ่ายและระบายความร้อน

ออกแบบมาสำหรับการแยกและทำความสะอาดเวเฟอร์

ป้ายกำกับยอดนิยม: หน่วยทำความสะอาดแทรกผู้ผลิตหน่วยทำความสะอาดจีน