น้ำยาทำความสะอาดแบบบูรณาการสำหรับการกำจัดเวเฟอร์การแยกการแทรก

น้ำยาทำความสะอาดแบบบูรณาการสำหรับการกำจัดเวเฟอร์การแยกและการแทรก (เวเฟอร์ degumming, การแยกและการทำความสะอาดหน่วย) ได้รับการออกแบบมาเป็นพิเศษสำหรับการทำความสะอาดอัตโนมัติการกำจัดอนุภาคขนาดใหญ่การลดทอนการหั่นการแทรกและการทำความสะอาดสารเคมีของเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ อุปกรณ์นี้เหมาะสำหรับเวเฟอร์ขนาด 8 นิ้วและมีกระบวนการอัตโนมัติอย่างเต็มที่รวมถึงการให้อาหารการล้างสเปรย์การทำความสะอาดอัลตราโซนิกการทำความร้อนการกำจัดการกำจัดจานการหั่นอัตโนมัติการแทรกเทปคาสเซ็ตและการล้างด้วยสารเคมี

เวเฟอร์ที่ซ้อนกันถูกแยกออกจากกันโดยใช้กลไกถ้วยดูด เวเฟอร์ที่เสียหายจะถูกระบุและรายงานโดยระบบ CCD ก่อนที่จะถูกป้อนเข้าสู่เทปเวเฟอร์ขนาด 8 นิ้ว คาสเซ็ตเต็มจะถูกแทรกโดยอัตโนมัติและการขนส่ง/การขนถ่ายของคาสเซ็ตจากส่วน degumming ได้รับการจัดการโดยหุ่นยนต์อัตโนมัติ หุ่นยนต์จัดคาสเซ็ตเต็มและส่งไปยังสถานีให้อาหารของเครื่องทำความสะอาดที่ตามมา หุ่นยนต์ของเครื่องทำความสะอาดจากนั้นจะขนส่งคาสเซ็ตผ่านถังทำความสะอาดสารเคมีสองถังถังล้างสองถังและกระบวนการอบแห้งอากาศร้อนก่อนการจัดเรียงและเอาต์พุตขั้นสุดท้าย ระบบทั้งหมดได้รับการออกแบบเป็นช่องทางกระบวนการต่อเนื่องซึ่งต้องการให้ผู้ปฏิบัติงานโหลดชิ้นงานและเทปคาสเซ็ตเท่านั้น

เครื่องทำความสะอาดแบบบูรณาการมีเครื่องสแกนบาร์โค้ดสามตัวสำหรับการติดตามหมายเลขกระบวนการและ ID Cassette ที่โหลดการทำความสะอาดและการขนถ่ายตำแหน่ง เวเฟอร์การจัดการการผลิตดำเนินการตามรหัสเหล่านี้ หน้าจอสัมผัสประกอบด้วยการ์ดหน่วยความจำที่ติดตั้ง - สำหรับการดึงข้อมูลที่ง่ายและข้อมูลที่บันทึกสามารถเข้าถึงได้โดยตรงโดยคอมพิวเตอร์โฮสต์ เครื่องพิมพ์ความร้อนในกระบวนการโหลดคาสเซ็ตพิมพ์เครื่องหมายคำสั่งงาน

ส่วนประกอบไฟฟ้าที่สำคัญนำเข้าจาก Omron, Mitsubishi, Festo, SMC และ Keyence เพื่อให้มั่นใจถึงประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้อายุการใช้งานที่ยาวนานและการทำงานที่มั่นคง

ออกแบบมาสำหรับเวเฟอร์ degumming แยกและทำความสะอาด

เข้ากันได้กับชิ้นงานสองประเภท: degumming ingot และการหั่น (การตัดลวดเพชรหรือการตัดสารละลาย)

• ความจุ:360 ชิ้น/ชั่วโมง

ป้ายกำกับยอดนิยม: น้ำยาทำความสะอาดแบบบูรณาการสำหรับการกำจัดการลดการแทรกของเวเฟอร์การแทรกสารทำความสะอาดรวมของจีน