เวเฟอร์สอง - ของเหลวเดี่ยว - การแปรงด้านข้างและการทำความสะอาดสปิน - เครื่องเป่า (เครื่องทำความสะอาด sic กับสอง - การปั่นแบบของเหลว {- การทำให้แห้ง อุปกรณ์เดี่ยว - อุปกรณ์ขนถ่ายสถานีหน่วยการทำให้บริสุทธิ์ FFU ระบบควบคุมไฟฟ้าระบบท่อและระบบนิวเมติก
พารามิเตอร์ผลิตภัณฑ์
1. การผลิตกระแส:
โหลด→ตำแหน่ง→การหมุน, การแปรง, การทำความสะอาด, สอง - การพ่นของเหลว→การหมุน, หมุน - การอบแห้ง→ยกเลิกการโหลด
2. วัสดุมาเจร์:
กรอบโลหะ
กระดานไวท์บอร์ด PP
3. การขนส่ง:
เวเฟอร์ถูกขนส่งด้วยมือหุ่นยนต์ที่สะอาด
คุณสมบัติของผลิตภัณฑ์และแอปพลิเคชัน
กำจัดอนุภาคที่เหลือออกจากพื้นผิวเวเฟอร์
รายละเอียดผลิตภัณฑ์
ความสามารถของห้องซักผ้า:
1 เวเฟอร์
เวลาการผลิตทั่วไปเวลา:
ประมาณ . 144 sec/piece (เวลาแปรงสามารถปรับได้)
ขนาดมาตรฐาน:
6 นิ้ว (φ150มม.) และ 8 นิ้ว (φ200mm)
ไม่ใช่ - ขนาดมาตรฐาน:
φ150 ~ 153 มม. และφ200 ~ 203 มม.
สถานการณ์แอปพลิเคชัน
◇ในเดือนตุลาคม 2566 เครื่องทำความสะอาด SIC พร้อมสอง - การปั่นของเหลวปั่นปั่น - การอบแห้งให้เสร็จสมบูรณ์ R&D และป้อนการทดสอบ
ป้ายกำกับยอดนิยม: SIC Cleaner พร้อมการปั่นปั่นแบบของเหลวสองแบบ - การอบแห้ง, China SIC Cleaner พร้อมการปั่นปัดของเหลวสองแบบ - ผู้ผลิตอบแห้ง
